API激光干涉儀在測量直線模組中的應(yīng)用

發(fā)布時間：2025-08-08

直線電機(jī)也稱線性電機(jī)，線性馬達(dá)，直線馬達(dá)，推桿馬達(dá)，是一種新型電機(jī)，具有高加速、高減速、運動慣量小、高靈敏、系統(tǒng)剛性好、使用壽命長、安全可靠等優(yōu)點，與光柵尺配合可形成閉環(huán)控制系統(tǒng)�，F(xiàn)其應(yīng)用日益廣泛，在計算機(jī)、自動化、精密直線位移的機(jī)械手等方面大有取代傳統(tǒng)電機(jī)之勢。磁懸浮列車上就是用直線電機(jī)來驅(qū)動的。

這種電機(jī)在生產(chǎn)過程中需要對其步長進(jìn)行檢測和調(diào)整從而達(dá)到更高的精度指標(biāo)，我們可以按照設(shè)定的運動步長控制直線電機(jī)運行，利用激光干涉測量每運行一個步長對應(yīng)的定位誤差；根據(jù)定位誤差值建立誤差補(bǔ)償表，并對位置坐標(biāo)進(jìn)行修正，再利用修正值控制直線電機(jī)運行。

上圖既為利用API激光干涉儀測量直線模組的實例，API的激光干涉儀具有超高的精度，無需三腳架可快速安裝固定，干涉鏡組與主機(jī)集成一體，兩點對光，比同類的激光干涉儀測量速度快。API激光干涉儀一次調(diào)光測量，就可以測量出直線模組的定位精度，重復(fù)性，反向間隙，水平方向直線度，豎直方向直線度等幾何精度誤差。

上圖為線性誤差經(jīng)過往返4次測量，最終得到的定位精度為0.0012mm，重復(fù)性為0.0006mm。不僅僅證明了直線電機(jī)的高精度，也驗證了激光干涉儀自身的超高精度和穩(wěn)定性。

API激光干涉儀測量線性軸直線度時，無需額外對光，無需更換光學(xué)鏡組，在測量線性誤差的同時即可得到雙向直線度誤差。這兩個方向的直線度誤差可直觀實時的顯示在電腦屏幕上，快捷方便且便于安裝人員調(diào)整。

另外，DD是directdriver的簡稱，即直接驅(qū)動馬達(dá)。API激光干涉儀在DD馬達(dá)的測量方面，為用戶提供了最簡單，最經(jīng)濟(jì)的解決方案XD5LS激光干涉儀+多面體。多面體可根據(jù)客戶不同需求選擇12面、24面或36面棱體。其測量精度可達(dá)1角秒。

上圖為DD旋轉(zhuǎn)馬達(dá)經(jīng)過往返5次測量，最終得到精度為7.9角秒，重復(fù)性為3.01角秒。實現(xiàn)了非常好的測量效果。

（來源：美國自動精密工程公司北京代表處）